實驗名稱：納米壓印執行器實驗研究

　　測試設備：ATA-2082高壓放大器、信號發生器、激光位移傳感器、控制器等。

　　實驗過程：

　　圖1：實驗平臺

　　搭建了如圖1所示的實驗平臺。實驗過程：信號發生器輸出的激勵信號經過高壓放大器放大之后傳輸至壓電陶瓷，其中正極信號分別傳輸至兩個壓電陶瓷片的外側電極，負極信號均連接至執行器梁末端的螺栓；激光位移傳感器及其控制器是由24V電源供電，通過計算機上的控制軟件控制激光位移傳感器的各項參數；激光位移傳感器的測量范圍有限，在測量之前要保證傳感器與被測量表面之間的距離，被測量表面的位移距離要在傳感器的測量量程范圍內。

　　實驗結果：

　　圖2：利用激光位移傳感器測量測量執行器彎曲方向振動

　　根據仿真軟件得到的仿真結果，執行器的共振頻率在40kHz左右，利用信號發生器產生頻率在38kHz至42kHz范圍內的正弦波信號，經高壓放大器放大至150V后傳輸至壓電陶瓷，利用激光位移傳感器收集不同頻率的正弦激勵信號下執行器尖端的位移數據，得到不同頻率下執行器尖端的振幅，根據所得到的數據確定執行器的共振頻率以及振幅。

　　高壓放大器推薦：ATA-2082

　　圖：ATA-2082高壓放大器指標參數

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