MEMS是以微電子技術為基礎，采用硅微加工技術、光刻鑄造成型(LIGA)和精密機械加工等多種微加工技術制作的，關鍵尺寸在亞微米至亞毫米范圍內的微傳感器、微執行器和微系統的總稱。其中MEMS動態測試技術，因其能夠測試MEMS三維運動，分析MEMS動態特性、材料特性以及機械力學參數等關鍵數據，已成為MEMS測試技術的重要組成部分。而研究如何在MEMS運動過程中記錄瞬間運動狀態，并恢復MEMS表面的離面運動歷程，則是MEMS動態測試技術實現離面運動測量的關鍵。

 

MEMS模型

MEMS離面運動測試系統首先通過頻閃同步信號編輯和控制軟件命令任意波形發生器產生激勵波形、頻閃照明信號和控制信號，激勵信號通過同軸電纜經高壓放大器驅動MEMS運動，頻閃照明信號經頻閃驅動電路實現LED的頻閃照明，控制信號則負責命令和協調CCD攝像機、圖像采集卡和納米定位儀的工作; CCD攝像機捕捉到的物體運動瞬間圖像由圖像采集卡采集并存儲在計算機指定的存儲區內,供后續的數據處理使用。在獲得完整的物體運動圖像之后,系統轉入數據處理階段,主要由圖像數據后續處理軟件完成,最終將得到諸如物體表面某點運動軌跡曲線或某個局部區域的運動狀態圖等實驗結果。

 

 

MEMS離面運動測試系統功能框圖

 

AigtekATA-4000系列高壓功率放大器在MEMS測試領域有著廣泛的應用，其中常被應用在相顯微干涉技術，微型傳感器技術等。ATA-4000系列高壓放大器最大輸出功率452Wp ，最大輸出電壓310Vp-p（±155Vp） ，最大輸出電流4Arms ，帶寬高達DC~3MHz。

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